高纯二氧化锗 （ＧｅＯ2 ）是将高纯四氯化锗 （ＧｅＣｌ 4 ）加入去离子水分解而成的。通过过滤使固体 ＧｅＯ2与水解液分离水解液中的锗含量一般为2～4ｇ／Ｌ。目前一般采用直接往水解液中加氯盐法或加入等质量的盐酸进行蒸馏的方法回收其中的锗锗以 ＧｅＣｌ4 的形式得到回收。第二种方法回收水解液中的锗需消耗30％的工业盐酸约 110ｔ／ａ产生 Ｈ＋ 浓度为6。5ｍｏｌ／Ｌ的蒸馏残液约200ｍ3 ／ａ环保处理时困难比较大。
有一种新的从四氯化锗水解母液中回收锗的工艺此工艺主要包括用 ＮａＯＨ或氨水调节水解液的 ｐＨ值加入镁化合物生成锗酸镁沉淀过滤得到锗沉淀并烘干再用传统的蒸馏工艺回收锗。采用此工艺可使锗的回收率达到 98％以上最佳实验条件为：选用 ＮａＯＨ来调节水解液的 ｐＨ值至 7～8ＭｇＣｌ2或 ＭｇＳＯ 4 作为沉淀剂Ｍｇ／Ｇｅ（摩尔比 ）为1。5∶1沉淀时间为4ｈ。水解母液的产生量为 110ｍ3 ／ａ含锗平均为3ｇ／Ｌ采用此工艺产生品位为 31。55％的锗沉淀约为1046ｋｇ需要30％的工业盐酸约6。5ｔ／ａ采用新工艺比采用旧回收工艺每年可节约工业盐酸 100ｔ左右而锗总的回收率基本一致。