ITO靶材是制作平板显示器、液晶显示器等产品中非常重要的原料。然而,在生产过程中会产生大量的废旧ITO靶材。仅我国一年的ITO靶材产量就高达8000吨左右,其中废旧ITO靶材就有3000多吨需要处理。废旧ITO靶材中含有价值较高的稀有金属,如果处理不当不仅会造成资源浪费,还会对环境造成污染。针对这一问题,目前业内主要采用了以下几种回收利用方法:
1. 焚烧法
将废旧ITO靶材在高温条件下进行焚烧,可以将其中的有机物质燃烧掉,回收残留物中含有的稀土金属。这种方法处理效率较高,但是会产生烟尘污染。
2. 酸浸法
使用酸液对废旧ITO靶材进行浸泡,使目标金属离子溶解在酸液中。然后经过滤、沉淀等步骤可以回收出稀土金属。这种方法可以有效回收金属,但是酸液的处理也比较复杂。
3. 生物浸出法
一些含有特定金属离子的细菌可以从废旧ITO靶材中有选择性地吸收稀土金属离子。经过提取、精炼后可以回收利用这些金属元素。这种方法处理效率较低,但对环境影响较小。
4. 熔融法
将废旧ITO靶材与含氯化物的熔融剂混合,在高温下进行熔融。金属氯化物会挥发分离,然后可以通过凝固、升华等步骤提取稀土金属。这种方法回收效率较高,但设备和处理成本也较大。
在实际处理中,往往会根据靶材的组成及设施情况,选择两种或两种以上的方法共同使用,以提高回收效率,降低成本和环境影响。无论采用何种方法,正确处理废旧ITO靶材都对资源节约和环境保护大有裨益。